粒子計數(shù)器的校正方法和基本步驟

校正的基本步驟：

現(xiàn)假設對一臺常見的Royco HH200作校正

1、首先，要清楚Royco 323和HH200A有何差別，其測試原理一樣，但Royco 323流速為1CFM（立方英尺/分鐘），而Royco HH200則為0.1CFM。

2、將潔凈臺開機，工作半小時，其間內也打開Royco 323和Royco HH200，讓其預熱半小時。

3、準備好255的取樣器管，并搭接好其所有氣體管路。

4、將配好的標準液（如0.301um）放入脫原子瓶中，注意勿讓液體超過噴嘴。

5、設置Royco323和Royco HH200的基本參數(shù)

（1）取樣時間都設置為00：01：00

（2）取樣次數(shù)都設置03

（3）取樣模式都設置為Auto

（4）間隔時間都設置為00：00：05

（5）讀數(shù)模式都設置為Cumulative

注：以上設置相同，因其流速有10倍差，故Royco323測試結果會是Royco HH200的10倍。

6、打開255電源，調節(jié)脫原子氣體閥和干燥氣體閥，在調至噴嘴閥處呈氣霧出現(xiàn)，干燥氣體流速計約60SCFH時后，保持其工作狀態(tài)。

7、讓Royco 323和Royco HH200同時工作，看其三次的平均結果，若在20%以內，視為合格。

8、拆下脫原子瓶，重新滴入其它標準粒子，重復該測試。

9、以上校正只是對比校正，尚*用萬用表對其基本參數(shù)測量，用示波器對其信號捕捉等來輔助調校。