氣體塵埃粒子計數(shù)器的校正程序

一．     校正所需設(shè)備

1．          100級潔凈房或潔凈臺

2．          一臺用于作對比，尚在校正期內(nèi)的塵埃粒子計數(shù)器，如Royco323

3．          各粒徑的標(biāo)準(zhǔn)粒子，如0.3um ; 0.5um ; 1um 等等

4．          標(biāo)準(zhǔn)粒子氣體產(chǎn)生器，如Model 255

5．          *產(chǎn)生脫離水（DI水）的純水系統(tǒng)或類似裝置

6．          其它普通電器，如220V電源插座，萬用表等等

二．     校正的基本原理

   氣體塵埃粒子計數(shù)器的校正程序

   標(biāo)準(zhǔn)粒子（如0.301um）通過255粒子產(chǎn)生器由液狀霧化成氣體，并由其內(nèi)置泵通過0.2um的過濾器后的干燥氣體進(jìn)入取樣管路，這時，將兩臺相同塵埃粒子計數(shù)器同時或先后對取樣管進(jìn)行抽樣測試，并比校0.3um粒徑的測試值。如果其平均值在20%以內(nèi)，認(rèn)為合格。如果不同型號的粒子計數(shù)器，一*要弄清楚其流速，取樣時間，取樣次數(shù)等參數(shù)，并且，還要明白怎樣理解其測試結(jié)果。

三. 校正的基本步驟：氣體塵埃粒子計數(shù)器的校正程序

    現(xiàn)假設(shè)對一臺常見的Royco HH200作校正

1．          首先，要清楚Royco 323和HH200A有何差別，其測試原理一樣，但Royco 323流速為1CFM（立方英尺/分鐘），而Royco HH200則為0.1CFM。

2．          首先，請將潔凈臺開機，工作半小時，其間內(nèi)也打開Royco 323和Royco HH200，讓其預(yù)熱半小時。

3．          準(zhǔn)備好255的取樣器管，并搭接好其所有氣體管路。

4．          將配好的標(biāo)準(zhǔn)液（如0.301um）放入脫原子瓶中，注意勿讓液體超過噴嘴。

5．          設(shè)置Royco323和Royco HH200的基本參數(shù)

（1） 取樣時間都設(shè)置為00：01：00

（2） 取樣次數(shù)都設(shè)置03

（3） 取樣模式都設(shè)置為Auto

（4） 間隔時間都設(shè)置為00：00：05

（5） 讀數(shù)模式都設(shè)置為Cumulative

 注：以上設(shè)置相同，因其流速有10倍差，故Royco323測試結(jié)果會是Royco HH200的10倍。

6．          此時，打開255電源，調(diào)節(jié)脫原子氣體閥和干燥氣體閥，在調(diào)至噴嘴閥處呈氣霧出現(xiàn)，干燥氣體流速計約60SCFH時后，保持其工作狀態(tài)。

7．          此時，讓Royco 323和Royco HH200同時工作，看其三次的平均結(jié)果，若在20%以內(nèi)，視為合格。

氣體塵埃粒子計數(shù)器的校正程序